Shimadzu Institute - Nanotechnology Research Center (NRC) or NanoFAB

미국 텍사스대학교 알링턴캠퍼스 해외연수 선발대 6명 

Shimadzu Institute - Nanotechnology Research Center (NRC) or NanoFAB 방문

Homepage: https://shimadzuinstitute.org/centers/nanotechnology-research-center/

텍사스 대학교 알링턴 캠퍼스(UTA)는 북텍사스 지역에서 최고의 대학 기반 나노기술 연구, 개발 및 교육 시설을 보유하고 있습니다.

**나노기술 연구 및 교육 센터(Nanotechnology Research & Education Center)**는 학제 간 자원으로, UTA 내부뿐 아니라 외부 과학자들에게도 개방되어 있습니다. 연구 활동은 화학, 전기공학, 기계 및 항공우주공학, 재료과학, 물리학 교수진, 대학원생, 연구 조교 등과의 상호 유익한 협업을 통해 진행되며, 다른 대학이나 민간 부문의 연구자들과의 공동 연구도 이루어지고 있습니다.

**시마즈 나노기술 연구소(Shimadzu Institute Nanotechnology Research Center)**는 다양한 전문 연구 및 교육 실험실을 갖추고 있습니다. 이 시설에는 습식 화학 실험실을 포함한 10,000 평방피트 규모의 Class 100 클린룸이 있으며, 그 외에도 다음과 같은 첨단 장비가 갖춰진 실험실 공간이 마련되어 있습니다:

• 에너지 분산형 X-선 분광기(EDS)가 장착된 주사전자현미경(SEM)
• 주사터널현미경(STM)
• 집속이온빔(FIB)
• 전자빔 리소그래피 시스템(E-Beam writer)

UTA의 화학, 전기공학, 기계 및 항공우주공학, 재료공학, 생명공학, 물리학 등 여러 학과의 교수, 학생, 연구원들이 협력하여 연구를 수행하며, 외부 대학 및 산업계 연구자들도 이 센터에서 함께 연구를 진행합니다.

이 시설의 사용자들은 마이크로미터 및 나노미터 규모에서 과학 및 공학 분야의 지식 발전과 기술 개발을 추구하고 있으며, 다음과 같은 주제로 연구가 진행되고 있습니다:

헬스케어 분야

• 바이오 마이크로전자기계시스템 (Bio-MEMS)
• 광학 바이오 및 화학 센서
• 분자 및 세포 식별을 위한 나노포어 및 마이크로포어

재생 에너지 분야

• 고급 태양전지 재료 및 에너지
• 플라즈모닉 나노구조
• 진동 에너지 수확 장치
• 마이크로 규모의 열 전달/방열/변환 기술

다양한 응용 분야의 센서 시스템

• 나노전자기계시스템 (NEMS)
• 플렉시블 나노전자 소자
• 단전자 소자 (Single Electron Devices)
• 준광학 무선통신/레이더 부품 및 시스템
• 반도체 레이저
• 반도체 디텍터, 센서

주요 장비 (https://shimadzuinstitute.org/centers/nanotechnology-research-center/)

• 측정 및 검사 장비(Metrology & Inspection Platforms)
• 다이싱, 와이어 본딩 및 웨이퍼 본딩 장비 (Dicing, Wire & Wafer Bonding Platforms)
• 증착 및 성장 장비 (Deposition & Growth Platforms)
• 식각 및 애싱 장비 (Etching & Ashing Platforms)
• 리소그래피 및 패턴 프린팅 장비 (Lithography & Pattern Printing Platforms)
• 어닐링 및 가열 장비 (Annealing & Heating Platforms)
• 전기적 측정 장비 (Electrical Testing Platforms)