원리 및 특성

열증착기는 먼저 재료를 소스(boat, filament 등)에 장착하고, 챔버 내부를 펌프를 통해 고진공 상태로 만든 후 작동을 시작한다.

이후 소스에 전류를 인가하여 저항 발열을 통해 재료를 가열하고, 재료가 융점에 도달하면 기화되어 기체 상태의 원자나 분자가 된다.

이 기화된 입자들은 고진공 환경 덕분에 다른 기체 분자와 충돌하지 않고 직선 경로로 기판에 도달한다. 기판에 도달한 입자들은 표면에 응축되어 박막을 형성한다.

이 과정은 Quartz Crystal Microbalance(QCM) 장치를 이용해 증착 속도와 두께를 실시간으로 모니터링하며, 필요에 따라 증착 조건을 조정할 수 있다