| 호실 | CRC 102호 PXG Room |
|---|---|
| 제조사(모델) | COXEM (EM-30N) |
| 담당자 | 김보명 |
| 이메일 | billionp10@yu.ac.kr |
| 연락처 | 053-810-4832 |
EM-30N은 반도체, 재료과학, 생명과학, 환경 및 식품 산업 등 다양한 분야에서 미세 구조의 관찰과 분석을 위해 사용되는 고해상도 테이블형 주사전자현미경이다.
특히, 미세 입자 분석, 표면 형상 관찰, 비전도성 시료의 비파괴 검사 등 정밀한 분석이 요구되는 연구 및 품질 관리 분야에서 활용된다.
소형 구조로 설치가 간편하며, 고해상도 관찰이 가능한 테이블형 주사전자현미경이다.
고정밀 디지털 신호처리 기술을 기반으로 선명한 이미지를 제공하며, 최대 150,000배까지 배율 조절이 가능하다.
NanoStation 소프트웨어를 통해 자동 초점, 밝기 및 대비 조절이 가능하며 사용자 접근성이 우수하다.
고정도 스테이지는 X, Y 이송과 함께 틸트 기능을 갖추고 있어 시료의 다양한 각도 관찰이 가능하다.
옵션 모듈(EDS, STEM, Coolstage 등)을 통해 조성 분석 및 다양한 특수 환경 관찰이 가능하다
해상도 : 5nm 이하 @ 30kV
배율 범위 : 15배 ~ 150,000배
가속 전압 : 1 ~ 30kV (1kV 단위 조절)
전자원 : 텅스텐 필라멘트
검출기 : SED (2차 전자 검출기), BSED (반사 전자 검출기)
샘플 스테이지 이동 범위 : X: 35mm, Y: 35mm, 틸트: 0 ~ 45°
진공 모드 : 고진공(HV), 저진공(LV) 모드 지원
진공 시스템 : 터보 펌프(80L) + 로터리 펌프(100L)
데이터 출력 형식 : JPEG, TIFF, BMP