| 호실 | CRC 102호 Measurement Room |
|---|---|
| 제조사(모델) | Nanometrics (HL5500PC) |
| 담당자 | 김보명 |
| 이메일 | billionp10@yu.ac.kr |
| 연락처 | 053-810-4832 |
HL5500PC는 시료에 전류를 인가하고, 외부 자기장 하에서 발생하는 홀 전압을 측정하여 캐리어 농도와 이동도를 계산한다.
측정은 AC 및 DC 모드로 수행되며, AC 모드는 열 효과 및 장기 드리프트를 최소화하고 신호 대 잡음비를 향상시킨다.
DC 모드는 비오믹 접촉이나 기생 용량의 영향을 줄이기 위해 사용된다.
또한, HL55WIN 소프트웨어는 접촉 저항 확인, 전류-전압 곡선 추적, 홀 산란 계수 보정 등의 기능을 제공하여 정확한 측정을 지원한다.
측정 가능한 시트 저항 : 기본: 최대 10 MΩ/□, 확장 시: 최대 100 GΩ/□ (고임피던스 버퍼 앰프 사용 시)
측정 가능한 홀 전압 : 약 10 μV 수준까지 측정 가능
온도 범위 : 90 K ~ 550 K (옵션 크라이오스타트 사용 시)
시료 크기 : 1×1 ~ 1.5×1.5 cm², 두께 1 mm 이하 권장
지원 시료 형상 : Van der Pauw, 바(bar), 브리지(bridge) 형태
자기장 세기 : 0.32 T 영구 자석 (±1% 안정성)
측정 모드 : AC (213 Hz), DC 모드 모두 지원
전류 소스 범위 : 100 nA ~ 19.9 mA (기본), 1 pA ~ 10 μA (HL5580 모듈 사용 시)