규격

지원 웨이퍼 크기 : 2", 4", 6", 8" (카세트 로딩 지원)
측정 파장 범위 : 380 nm ~ 800 nm (스펙트로미터 기준)
펌핑 레이저 옵션 : 266 nm, 405 nm, 532 nm 등 최대 3종 장착 가능
공간 해상도 : 0.5 mm (2"), 1 mm (4"), 2 mm (8")
측정 항목 : 피크 파장(Wp), 중심 파장(Wd), 피크 강도, 적분 강도, FWHM 등
두께 측정 방법 : 반사 간섭법 (광 간섭 기반)
두께 측정 정확도 : GaN 필름 기준 ±3%
PL 강도 측정 정확도 : 피크 및 적분 강도 기준 ±5%
픽셀 해상도 : 0.13 nm/pixel (하드웨어 기준)
소프트웨어 기능 : 라인 프로파일, Susceptor Viewer, 칩 인덱싱, 결함 좌표화 등