장비사용예약
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장비 정보
Vacuum Chamber Probe Station진공 챔버 프로브스테이션
| 호실 | CRC 102호 Measurement Room |
|---|---|
| 제조사(모델) | 모두시스템즈 (PS-CG4SP) |
| 담당자 | 최성욱 |
| 이메일 | wellggo7@yu.ac.kr |
| 연락처 | 053-810-4896 |
예약 하기
2026년 09월
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| 일 | 월 | 화 | 수 | 목 | 금 | 토 |
| 1수리중 | 2수리중 | 3수리중 | 4수리중 | 5수리중 | ||
| 6수리중 | 7수리중 | 8수리중 | 9수리중 | 10수리중 | 11수리중 | 12수리중 |
| 13수리중 | 14수리중 | 15수리중 | 16수리중 | 17수리중 | 18수리중 | 19수리중 |
| 20수리중 | 21수리중 | 22수리중 | 23수리중 | 24수리중 | 25수리중 | 26수리중 |
| 27수리중 | 28수리중 | 29수리중 | 30수리중 | |||
오늘예매가능한 날짜선택한 날짜종료
원리 및 특성
시스템은 반도체 소자, 박막 트랜지스터, LED, 센서 등의 전기적 특성 측정에 사용되며, 특히 저전류 특성 및 누설 전류 분석에 적합하다.
진공 환경에서의 수동 프로빙과 초고정밀 SMU 측정이 결합된 형태로, 재료 연구, 소자 평가, 품질 관리 등의 다양한 분야에 활용된다.
규격
프로브 스테이션 모델 : 모두시스템즈 PS-CG4SP
측정기기 : Keysight B2901B Precision SMU
지원 시료 크기 : 최대 4인치 웨이퍼 또는 개별 칩
프로브 헤드 구성 : 최대 4개 (수동 마이크로매니퓰레이터 방식)
이동 방식 : X, Y, Z축 미세 수동 조정
진공 지원 : 챔버형 구조, 진공 펌프 연동 가능
SMU 출력 범위 : ±210 V / ±3 A DC / ±10.5 A 펄스
SMU 해상도 : 100 fA (전류) / 100 nV (전압)
제어 소프트웨어 : Keysight EasyEXPERT group+
적용 분야 : I-V 측정, 누설 전류, 전도도, 저전류 소자 측정