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장비사용예약

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장비사용예약

장비 정보

연마기

Thining System연마기

장비명, 호실, 제조사, 모델명, 담당자, 담당자연락처, 담당자메일주소를 안내하는 표
호실 CRC 102호 PXG Room
제조사(모델) NTS (GH180-P-V)
담당자 권지훈
이메일 kjhoon@yu.ac.kr
연락처 053-810-4834

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예약일정
이전달 2026년 09월 다음달
1수리중 2수리중 3수리중 4수리중 5수리중
6수리중 7수리중 8수리중 9수리중 10수리중 11수리중 12수리중
13수리중 14수리중 15수리중 16수리중 17수리중 18수리중 19수리중
20수리중 21수리중 22수리중 23수리중 24수리중 25수리중 26수리중
27수리중 28수리중 29수리중 30수리중
오늘예매가능한 날짜선택한 날짜종료

원리 및 특성

• 반도체 웨이퍼의 두께를 정밀하게 감소시키기 위한 반자동 웨이퍼 그라인더 장비

- 다이아몬드 디스크를 사용하여 실리콘(Si) 및 기타 반도체 소재를 정밀하게 연삭할 수 있다.
- 디지털 조작 패널을 통해 연삭 조건 설정 및 공정 모니터링이 가능하다.
- 반자동 시스템으로 사용자가 공정 조건을 설정하고 장비가 연속 작업을 지원한다.
- 소형, 경량화된 설계로 클린룸 및 연구실 환경에 적합하다.
- 공정 중 실시간 모니터링 기능을 통해 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있다.

규격

모델명 : NTS GH120-PV
장비 타입 : Semi-Automatic Wafer Thinning System
웨이퍼 크기 : 최대 6인치 (150mm)
연삭 방식 : 다이아몬드 디스크를 이용한 기계적 연삭
최소 가공 두께 : 약 50 μm 이하
두께 균일성 (TTV) : ±5 μm 이내 (공정 조건에 따라 달라질 수 있음)
연삭 속도 : 조절 가능, 소재 및 목표 두께에 따라 설정
작동 모드 : 반자동 (Semi-Auto)
조작 패널 : 디지털 컨트롤 패널, 매뉴얼 및 자동 제어 지원

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