| 호실 | CRC 102호 PXG Room |
|---|---|
| 제조사(모델) | NTS (GH180-P-V) |
| 담당자 | 권지훈 |
| 이메일 | kjhoon@yu.ac.kr |
| 연락처 | 053-810-4834 |
• 반도체 웨이퍼의 두께를 정밀하게 감소시키기 위한 반자동 웨이퍼 그라인더 장비
- 다이아몬드 디스크를 사용하여 실리콘(Si) 및 기타 반도체 소재를 정밀하게 연삭할 수 있다.
- 디지털 조작 패널을 통해 연삭 조건 설정 및 공정 모니터링이 가능하다.
- 반자동 시스템으로 사용자가 공정 조건을 설정하고 장비가 연속 작업을 지원한다.
- 소형, 경량화된 설계로 클린룸 및 연구실 환경에 적합하다.
- 공정 중 실시간 모니터링 기능을 통해 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있다.
모델명 : NTS GH120-PV
장비 타입 : Semi-Automatic Wafer Thinning System
웨이퍼 크기 : 최대 6인치 (150mm)
연삭 방식 : 다이아몬드 디스크를 이용한 기계적 연삭
최소 가공 두께 : 약 50 μm 이하
두께 균일성 (TTV) : ±5 μm 이내 (공정 조건에 따라 달라질 수 있음)
연삭 속도 : 조절 가능, 소재 및 목표 두께에 따라 설정
작동 모드 : 반자동 (Semi-Auto)
조작 패널 : 디지털 컨트롤 패널, 매뉴얼 및 자동 제어 지원