| 호실 | CRC 102호 PXG Room |
|---|---|
| 제조사(모델) | DISCO (DAD322) |
| 담당자 | 김보명 |
| 이메일 | billionp10@yu.ac.kr |
| 연락처 | 053-810-4832 |
반도체, 세라믹, 유리, 사파이어 등의 소재를 정밀하게 절단하는 자동 다이싱 소우(Dicing Saw)이다.
특히 6인치 이하의 웨이퍼나 기판을 고속, 고정밀로 절단하는 데 최적화
- 고정밀 절단 성능: 최소 인덱스 스텝 0.0001mm, 고속 스핀들(최대 40,000 rpm)로 다양한 소재 대응.
- 자동 얼라인먼트(Auto Alignment) 기능 탑재: 절단 정확성 향상.
- 친환경 설계: 전력 소비량 10% 절감, CO₂ 배출량 7% 감소, EU RoHS 지침 준수.
- 유지보수 편의성: 샤프트 락 기능으로 블레이드 교체 용이, 현미경 렌즈 셔터 및 스코프 블로우 기능.
- 사용자 친화적 인터페이스: 10.4인치 터치 패널을 통한 직관적인 조작 및 모니터링.
- 컴팩트한 설계: 클린룸 및 연구 환경에 적합한 소형화 구조.
최대 가공 크기 : Φ6인치 (150mm) 또는 150×150mm
X축 절단 범위 : 160mm
절단 속도 : 0.1 ~ 500 mm/s
Y축 절단 범위 : 162mm
인덱스 스텝 : 0.0001mm
인덱스 위치 정밀도 : 0.005mm/160mm (단일 오차 0.003mm/5mm)
Z축 최대 스트로크 : 32.2mm (Φ2인치 블레이드 기준)
Z축 이동 해상도 : 0.00005mm
Z축 반복 정밀도 : 0.001mm
θ축 회전 범위 : 320도
스핀들 출력 : 1.5kW
정격 토크 : 0.48N·m
회전 속도 범위 : 3,000 ~ 40,000 rpm