장비사용예약
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장비 정보
Wafer Breaker웨이퍼 브레이커
| 호실 | CRC 102호 PXG Room |
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| 제조사(모델) | NEON TECH (NBK-107) |
| 담당자 | 최성욱 |
| 이메일 | wellggo7@yu.ac.kr |
| 연락처 | 053-810-4896 |
예약 하기
2026년 09월
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| 일 | 월 | 화 | 수 | 목 | 금 | 토 |
| 1수리중 | 2수리중 | 3수리중 | 4수리중 | 5수리중 | ||
| 6수리중 | 7수리중 | 8수리중 | 9수리중 | 10수리중 | 11수리중 | 12수리중 |
| 13수리중 | 14수리중 | 15수리중 | 16수리중 | 17수리중 | 18수리중 | 19수리중 |
| 20수리중 | 21수리중 | 22수리중 | 23수리중 | 24수리중 | 25수리중 | 26수리중 |
| 27수리중 | 28수리중 | 29수리중 | 30수리중 | |||
오늘예매가능한 날짜선택한 날짜종료
원리 및 특성
• 사파이어 웨이퍼를 다이싱한 후, 개별 LED 다이로 정밀하게 분리하는 데 사용
최대 6인치까지 다양한 크기의 웨이퍼를 지원
Z축 이동 거리 최대 20mm, 해상도 0.001mm, 반복 정밀도 ±0.002mm
Θ축 회전 각도 ±5°로 유연한 분리 작업 가능
FANUC CNC 기반의 정밀 자동 제어 시스템
클린룸 환경에서 운용 가능한 설계
자동 정렬 기능 및 다양한 소재 웨이퍼 대응 가능
규격
- Workpiece size : Inch Φ6”
- X-axis
Moving Range : 0.01 – 160mm
Moving Speed : 0.1 – 400mm/sec
- Y-axis
Indexing Range : 160mm
Y-Single Pitch Error : 0.002/5mm
Y-Positioning Error : 0.002/160mm
Min.Step : 0.0001mm
- Z-axis
Max Stroke : 20mm
Moving Resolution : 0.001mm
Repeatability accuracy : 0.002mm
- Θ-axis
Max Rotation Angle : 360deg
- Support Axis
Work Range : 65mm
Resolution : 0.001mm