| 호실 | CRC 102호 PXG Room |
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| 제조사(모델) | 재성엔지니어링 (ROBOCOAT-300) |
| 담당자 | 권지훈 |
| 이메일 | kjhoon@yu.ac.kr |
| 연락처 | 053-810-4834 |
• ROBOCOAT-300은 반도체, 디스플레이, 광학, 바이오 소재 등 다양한 분야에서 기판 또는 부품의 표면에 균일하고 정밀한 두께의 액상 재료를 코팅하기 위한 장비
직교좌표 로봇 시스템을 채택하여 스프레이 노즐의 이동 경로를 정밀하게 제어할 수 있도록 설계되어 있다.
이 장비는 다양한 점도의 액상 물질을 균일한 두께로 코팅할 수 있는 에어 아토마이징 방식의 멀티 노즐 시스템을 제공한다.
코팅 후에는 UV 및 IR 경화 시스템을 통해 신속하게 경화를 진행할 수 있어, 전체 공정 시간의 단축과 생산성 향상에 기여한다.
처리 가능 기판 크기 : 최대 300mm × 300mm
트래버스 속도 : 5 ~ 300 mm/sec (정밀 제어 가능)
노즐 구성 : 에어 아토마이징 타입, 멀티 노즐 대응
건조 및 경화 방식 : UV 경화 및 IR 열경화 (최대 온도 200℃)
제어 시스템 : 10인치 컬러 LCD 터치 패널, PLC 기반 제어 시스템