원리 및 특성

작동 원리
스핀 코팅(Spin Coating)은 기판 위에 액상 재료를 적은 후, 고속 회전을 통해 원심력으로 액체를 퍼뜨려 얇고 균일한 박막을 형성하는 방법이다.

과정 단계
1. 디스펜스(Dispense): 기판 중앙에 액체 재료를 떨어뜨림
2. 스핀(Spin): 기판을 설정된 속도로 회전
3. 박막 형성: 원심력에 의해 액체가 얇게 퍼지며 최종 두께 결정
4. 건조(Drying): 회전 중 증발이 촉진되어 박막이 고화됨

MIDAS SPIN-1200D 주요 특징
- 고속 안정성(6000 rpm)
- 높은 균일성(두께 균일도 ±1%)
- 유연한 공정 설정(다단계 속도 프로파일)
- 다양한 크기의 웨이퍼 처리 가능