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장비사용예약

장비 정보

탁상형 주사전자현미경

Table SEM탁상형 주사전자현미경

장비명, 호실, 제조사, 모델명, 담당자, 담당자연락처, 담당자메일주소를 안내하는 표
호실 CRC 102호 PXG Room
제조사(모델) COXEM (EM-30N)
담당자 김보명
이메일 billionp10@yu.ac.kr
연락처 053-810-4832

예약 하기

예약일정
이전달 2026년 08월 다음달
일 월 화 수 목 금 토
1종료
2종료 3종료 4종료 5종료 6종료 7종료 8종료
9종료 10종료 11종료 12종료 13종료 14종료 15종료
16종료 17종료 18종료 19종료 20종료 21종료 22종료
23종료 24종료 25종료 26종료 27종료 28종료 29종료
30종료 31종료
오늘예매가능한 날짜선택한 날짜종료

원리 및 특성

EM-30N은 반도체, 재료과학, 생명과학, 환경 및 식품 산업 등 다양한 분야에서 미세 구조의 관찰과 분석을 위해 사용되는 고해상도 테이블형 주사전자현미경이다.
특히, 미세 입자 분석, 표면 형상 관찰, 비전도성 시료의 비파괴 검사 등 정밀한 분석이 요구되는 연구 및 품질 관리 분야에서 활용된다.

소형 구조로 설치가 간편하며, 고해상도 관찰이 가능한 테이블형 주사전자현미경이다.
고정밀 디지털 신호처리 기술을 기반으로 선명한 이미지를 제공하며, 최대 150,000배까지 배율 조절이 가능하다.
NanoStation 소프트웨어를 통해 자동 초점, 밝기 및 대비 조절이 가능하며 사용자 접근성이 우수하다.
고정도 스테이지는 X, Y 이송과 함께 틸트 기능을 갖추고 있어 시료의 다양한 각도 관찰이 가능하다.
옵션 모듈(EDS, STEM, Coolstage 등)을 통해 조성 분석 및 다양한 특수 환경 관찰이 가능하다

규격

해상도 : 5nm 이하 @ 30kV
배율 범위 : 15배 ~ 150,000배
가속 전압 : 1 ~ 30kV (1kV 단위 조절)
전자원 : 텅스텐 필라멘트
검출기 : SED (2차 전자 검출기), BSED (반사 전자 검출기)
샘플 스테이지 이동 범위 : X: 35mm, Y: 35mm, 틸트: 0 ~ 45°
진공 모드 : 고진공(HV), 저진공(LV) 모드 지원
진공 시스템 : 터보 펌프(80L) + 로터리 펌프(100L)
데이터 출력 형식 : JPEG, TIFF, BMP

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