장비사용예약
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장비사용예약
장비 사용예약 및 사용안내
장비 예약
- 예약자격 : 영남대학교 학생, 교수, 교직원으로 반도체특성화대학 홈페이지 회원가입한 회원
- 예약제한 : 예약 후 무단으로 2회 이상 사용하지 않거나 장비 사용 후 완료보고서를 제출 하지 않을 경우 추가 예약을 중지/반려할 수 있습니다.
장비 사용
- 클린룸 장비를 사용하고자 하는 자는 장비 담당자에게 사전 사용승인을 받아야 하며, 사용 후 사용일지(로그북) 및 완료보고서 를 작성하여야 한다.
- 장비 사용 전 일정 점검을 실시하여 각종 부대설비의 안전 이상 유무를 확인한 후 사용해야 한다.
- 사용하고자 하는 장비에 대하여 사전에 작동 방법을 충분히 숙지한 후 사용하여야 한다.
- 사용자는 장비 사용 중 이상이 발생하였을 경우 즉시 작동을 중지하고 안전조치 등 필요한 행위를 취하여 지체 없이 관리 책임자에게 보고한다.
- 신청인은 장비 사용 중 관리 소홀 및 부주의에 의한 망실과 훼손, 인명피해 등 사고 발생에 의한 일체의 책임을 지며 원상복구를 하여야 한다.
- 장비 사용이 끝난 후 다음 사용자를 위하여 정비, 청소, 정리 정돈 등을 시행하여 사용 전 상태로 복원한다.
장비 목록 및 예약
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E-Beam Evaporator전자빔증착기
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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RF & DC sputter systemRF & DC 스퍼터링 시스템
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Rapid thermal process system (RTP)급속 열처리 장치
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Plasma enhanced chemical vapor deposition system (PECVD)플라즈마화학기상증착장비
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Thermal evaporator열 증착기
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Thermal chemical vapor deposition system열 화학 기상 증착 시스템
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Graphene CVD그래핀 화학 기상 증착기
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Thin film thickness measurement박막두께측정기
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Mask Aligner노광기(MA6)
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Mask Aligner노광기(P150)
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Spin Coator스핀 코터
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Hot Plate가열기
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Fume hood실험실용 배기기
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Optical Microscope전자현미경
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Plasma cleaner플라즈마 세정기
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Wet station (Acid)산 세정 장치
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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ICP Etcher유도 플라즈마 식각장치
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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Baking furnace진공로 (고온 열처리 장치)
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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Rapid thermal annealing system (RTA)급속 열처리 시스템
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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High Resolution X-ray Diffractometer (HRXRD)고분해능 X-선 회절분석기
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Table SEM탁상형 주사전자현미경
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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Ion sputter coater이온 스퍼터 코터
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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Wire Bonder와이어 본더
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Wire bonder와이어 본더
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Wax Bonding System왁스 본딩 시스템
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Wafer Bonder웨이퍼 본더
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Die Bonder다이 본더
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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Manual Die Bonding System수동 다이본딩 시스템
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Thining System연마기
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Lapping Machine연마기
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Dicing SAW미세소자 절삭기
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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Prober/Sorter Machine프로버 소터
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Plasma Cleaner플라즈마 클리너
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Wafer Breaker웨이퍼 브레이커
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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LASER Scriber레이저 스크라이버
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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LASER lift-off레이저 리프트-오프 시스템
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Die Matrix Expander다이 매트릭스 익스펜더
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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웨이퍼 전사기
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Tape Mounter테이프 마운터
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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Spray Coater스프레이 코터
권지훈 053-810-4834
kjhoon@yu.ac.kr
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Micro Dispencer마이크로디스펜서
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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I-V Measurement system소자 전류 전압 측정시스템
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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Precision LCR meter정밀 LCR 미터
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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Hall Effect Measurement System홀효과 측정 시스템
김보명 053-810-4832
billionp10@yu.ac.kr
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PL mapping system광 발광 측정시스템
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Vacuum Chamber Probe Station진공 챔버 프로브스테이션
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Thremal & Radiometer measurement system열/광 병행측정기
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr
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Cell Simulator셀 시뮬레이터
최성욱 053-810-4896
wellggo7@yu.ac.kr